近日，深圳市中圖儀器股份有限公司（以下簡稱“中圖儀器”）發布了其最新力作——CEM3000系列臺式掃描電鏡，這標志著公司在微觀觀測與分析領域邁出了堅實的一步。這款高性能的掃描電鏡將在第25屆中國國際光電博覽會（9月11-13日深圳國際會展中心3號館3A58）上精彩亮相，不僅展示中圖儀器在精密測量儀器領域的深厚積累，也預示著國產高端科學儀器正逐步走向國際舞臺。

在掃描電鏡新品發布之際，分析測試百科網專訪中圖儀器副總經理張鵬，了解國產精密測量儀器發展之路。

深圳市中圖儀器股份有限公司副總經理張鵬

重磅新品：CEM3000系列臺式掃描電鏡

CEM3000系列臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備，該系列涵蓋CEM3000A（大樣品倉型）和CEM3000B（抗振型）兩款強化機型。

CEM3000A系列

CEM3000B系列

·? 結構緊湊

該系列臺式掃描電鏡整機經過深入優化，在結構方面達到了最優的尺寸利用率，確保其出色的性能不再受環境尺寸的制約；

·? 分辨率高

搭載卓越的電子光學系統，擁有優于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求；

·? 易用性強

用戶友好性出色，無論是通過直觀的操作界面還是智能化的自動程序，都能讓用戶輕松上手，一鍵獲取理想圖像，極大簡化了操作流程；

·? 抽放氣速度快

獨特的真空系統設計，極大縮短了用戶抽放氣的等待時間；

·? 抗震防磁性能好

具有優秀的抗振防磁能力，特別是CEM3000B使用本公司專利技術，基于復合抗振手段，即使是在極高放大倍數下成像，用戶也不用擔心環境振動對電鏡產生的干擾。

　　此外，該系列電鏡允許用戶根據需求加裝各類探頭和附件，極大地擴展了其應用領域，可廣泛應用于材料科學、生命科學、納米技術、能源等多個領域。

技術創新引領行業前行

在采訪中，張鵬副總經理詳細介紹了中圖儀器在技術創新方面的努力與成就。中圖儀器成立于2005年，是國家高新技術企業和工信部專精特新“小巨人”企業，公司總部位于深圳市南山區，在蘇州、天津、沈陽、成都、武漢、寧波等多地設立分公司，擁有深圳、上海、武漢等多個研發中心，目前公司團隊近600余人，包含200余人的研發隊伍，為行業客戶提供8大系列、20多個種類、200款產品，服務于工業制造過程中的顯微尺寸、常規尺寸和大尺寸等各種測量需求。

目前中圖儀器能夠提供顯微尺寸、常規尺寸和大尺寸三大類尺寸測量儀器，白光干涉儀、共聚焦顯微鏡、閃測儀、三坐標測量機、測長機、激光干涉儀、激光跟蹤儀等產品在航空航天、機械重工、 3C電子、汽車制造、泛半導體、新能源、計量院所、科研院校等行業內獲得了廣泛應用，并且樹立起了良好的口碑。對比同類產品，中圖儀器堅持自主研發，掌握了多項核心技術，同時配備了充足的售前售后團隊，讓客戶買得放心用得安心。

國產化替代：提升自主可控能力

面對國家對于儀器儀表行業國產化替代的號召，中圖儀器積極響應，不斷加大研發投入，推動精密測量儀器的國產化進程。張鵬副總經理表示：“中圖儀器一直致力于打破國外技術壟斷，提升我國精密測量儀器的自主可控能力。目前，我們的白光干涉儀、共聚焦顯微鏡、臺階儀、閃測儀等系列產品已成功實現國產化替代，并在市場上占據了一席之地，大大提升了我們計量檢測的能力，提升了我國大型裝備自主可控能力。”

中圖儀器在CCD影像測量技術、3D微納米測量技術、激光測量技術、接觸精密測量技術方面擁有多項核心技術，截止目前已經獲得近200項專利技術。中圖儀器的全自動影像儀創新地實現了飛拍測量和閃測拼接測量等技術；復合型光學3D表面輪廓儀集成了白光干涉儀和共聚焦顯微鏡兩種高精度3D測量儀器的性能特點于一身；雙向掃描型輪廓儀一次測量就能獲得全部螺參數及輪廓參數，光學型輪廓儀一鍵測量，同步分析非球面所有參數和粗糙度參數；三坐標測量機控制器、軟件、測頭測座這三大件實現全自主研發生產；六自由度激光跟蹤儀目標靶球自動鎖定，斷光續接，多目標自動測量，通過PTB認證的全自主SMT空間測量軟件確保數據準確安全。

Novator系列全自動影像儀	SuperView WT3000復合型光學3D表面輪廓儀
SJ5700DUAL雙向掃描型輪廓儀	SJ5900光學型輪廓儀
Mizar Silver三坐標測量機	GTS激光跟蹤儀

張鵬副總經理強調，國產化替代不僅有助于提升我國計量檢測能力，還能降低企業成本，促進產業鏈上下游的協同發展。中圖儀器將繼續秉持“創新、品質、服務”的核心理念，為推動國產精密測量儀器的發展貢獻力量。

隨著CEM3000系列臺式掃描電鏡的發布，中圖儀器再次展示了其在精密測量領域的深厚實力和創新精神。相信在未來的發展中，中圖儀器將繼續引領國產精密測量儀器的新潮流，為科研和工業生產的進步貢獻更多力量。敬請期待中圖儀器在第25屆中國國際光電博覽會上的精彩表現！