什么叫荷電校正？為什么需要進(jìn)行荷電校正？
當(dāng)用XPS?測(cè)量絕緣體或者半導(dǎo)體時(shí),由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充,使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損,這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”。荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢(shì)Vs,對(duì)電子的逃離有一定束縛作用。因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移,使得測(cè)量的結(jié)合能偏離真實(shí)值,造成測(cè)試結(jié)果的偏差。
在用XPS?測(cè)量絕緣體或者半導(dǎo)體時(shí),需要對(duì)荷電效應(yīng)所引起的偏差進(jìn)行校正(荷電校正的目的),稱之為“荷電校正”。
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