電感耦合等離子體原子發射光譜法（ICP-AES），是以電感耦合等離子矩為激發光源的光譜分析方法，具有準確度高和精密度高、檢出限低、測定快速、線性范圍寬、可同時測定多種元素等優點，國外已廣泛用于環境樣品及巖石、礦物、金屬等樣品中數十種元素的測定。

　　電感耦合等離子體焰矩溫度可達6000~8000K，當將試樣由進樣器引入霧化器，并被氬載氣帶入焰矩時，則試樣中組分被原子化、電離、激發，以光的形式發射出能量。不同元素的原子在激發或電離后回到基態時，發射不同波長的特征光譜，故根據特征光的波長可進行定性分析；元素的含量不同時，發射特征光的強弱也不同，據此可進行定量分析，其定量關系可用下式表示：

　　式中：I—發射特征譜線的強度；

　　C—被測元素的濃度；

　　a—與試樣組成、形態及測定條件等有關的系數；

　　b—自吸系數，b≤1