ISO 13083:2015
表面化學分析. 掃描式探針顯微術. 電子掃描式探針顯微術 (ESPM), 例如用于二維摻雜成像等用途的SSRM和SCM, 中空間分辨率的定義和校準標準

Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

適用范圍: 該國際標準描述了測量掃描電容顯微鏡（SCM）或掃描擴散電阻顯微鏡（SSRM）空間（橫向）分辨率的方法，這些顯微鏡廣泛用于半導體器件中載流子分布和其他電特性的成像。該方法涉及使用鋒利的人工制品。

掃描探針顯微鏡 Electrical Scanning Probe Microscopy (ESPM)	一種用于表征半導體器件表面二維載流子分布的高空間分辨率技術
掃描電容顯微鏡 Scanning Capacitance Microscopy (SCM)	通過檢測樣品和探針之間靜電電容的變化來表征半導體表面載流子濃度的技術
掃描散射電阻顯微鏡 Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM)	利用超小導電探針測量樣品表面局部散射電阻，以表征半導體器件的二維電阻率和載流子分布的技術

原子力顯微鏡	SSRM技術的基礎平臺，用于檢測樣品表面的機械和電學特性
掃描探針顯微鏡	一種用于高分辨率成像的納米尺度測量工具，具有超尖導電探針