硅表面檢測

本專題涉及硅表面檢測的標準有1條。

國際標準分類中，硅表面檢測涉及到半導體材料。

在中國標準分類中，硅表面檢測涉及到半金屬與半導體材料綜合。

國家質(zhì)檢總局，關(guān)于硅表面檢測的標準

• GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測方法

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