GB/T 12964-2018
硅單晶拋光片
Monocrystalline silicon polished wafers
GBT12964-2018, GB12964-2018
- 標準號
- GB/T 12964-2018
- 別名
- GBT12964-2018, GB12964-2018
- 發布
- 2018年
- 總頁數
- 10頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 12964-2018
- 引用標準
- GB/T 11073 GB/T 12962 GB/T 12965 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 1550 GB/T 19921 GB/T 24578 GB/T 2828.1-2012 GB/T 29507 GB/T 32279 GB/T 32280 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 YS/T 26 YS/T 28 YS/T 679
- 被代替標準
- GB/T 12964-2003
- 適用范圍
- 本標準規定了硅單晶拋光片(簡稱硅拋光片)的牌號及分類、要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書和訂貨單(或合同)內容。 本標準適用于直拉法、懸浮區熔法(包括中子變摻雜和氣相摻雜)制備的直徑不大于200 mm的硅單晶拋光片。產品主要用于制作集成電路、分立元件、功率器件等，或作為硅外延片的襯底。
GB/T 12964-2018 中提到的儀器設備
| X射線熒光光譜儀 GB/T24578 | 用于檢測硅片表面金屬沾污。 |
| 自動非接觸掃描儀 GB/T29507 | 用于測量硅片平整度、厚度變化等幾何參數。 |
| 非接觸渦流儀 GB/T6616 | 用于測試硅片電阻率及薄膜電阻。 |
專題
GB/T 12964-2018相似標準
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