通過正確測定和解釋AES的特征能量、強度、峰位移、譜線形狀和寬度等信息，能直接或間接地獲得固體表面的組成、濃度、化學狀態等多種情報。定性分析定性分析主要是利用俄歇電子的特征能量值來確定固體表面的元素組成。能量的確定在積分譜中是指扣除背底后譜峰的最大值，在微分譜中通常規定負峰對應的能量值。習慣上用微分譜進行定性分析。...
手持光譜儀是一種基于XRF光譜分析技術的光譜分析儀器，當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線和原子發生碰撞的時候，驅逐出一個內層的電子從而出現一個空穴，讓整個原子體系處于不穩定狀態，當較外層的電子躍遷到空穴時，產生一次光電子，擊出的光子可能再次被吸收從而逐出較外層的另一個次級光電子，發生俄歇效應，稱之次級光電效應或無輻射效應，而逐出的次級電子稱為俄歇電子。...
2.X射線熒光光譜儀（XRF）參見體相成分分析X射線熒光光譜儀（XRF）3.俄歇電子能譜儀（AES）原理：具有一定能量的電子束(或X射線)激發樣品俄歇效應，通過檢測俄歇電子的能量和強度，從而獲得有關材料表面化學成分和結構的信息的方法。適合分析材料:金屬、高分子等材料，薄膜，涂層等應用領域：半導體技術、冶金、催化、礦物加工和晶體生長等。...
這一過程被稱之為俄歇效應一元素受激發后輻射出的X射線光子的能量等于受激原子中過渡電子在初始能態和終能態的能量差別，即發射的X射線光子能量與該特定元素的電子能態差成正比X射線熒光光譜儀是來源于樣品組成的特征輻射。通過側定和分析X射線的能量或波長，即可獲知其為何種元素，故可用來識別物質組成，定量分析物質中的元素含量。?...
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