DIN 50450-9:2021-07
半導體工藝材料測試 載氣和摻雜氣體雜質測定 第9部分：用氣相色譜法測定氣態(tài)氯化氫中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氫和C1-C3-烴類含量
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C1-C3-hydrocarbons in gaseous hydr
- 標準號
- DIN 50450-9:2021-07
- 發(fā)布
- 2021年
- 總頁數(shù)
- 8頁
- 發(fā)布單位
- 德國標準化學會
- 當前最新
- DIN 50450-9:2021-07
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標準名稱：測試半導體技術材料 - 氣體中雜質的測定 - 第九部分
適用范圍：本標準規(guī)定了使用氣相色譜法測定氯氫氣中氧氣、氮氣、一氧化碳、二氧化碳、氫氣和C1-C3烷烴的純度測試方法。適用于半導體技術中的載氣和摻雜氣體。
DIN 50450-9:2021-07 是 DIN-Normenausschuss Materialprüfung（材料檢測委員會）制定的一項標準，旨在提供一種精確的方法來測定氯氫氣中特定雜質的含量。該標準包括詳細的實驗流程、樣品準備和分析步驟。