IEC TS 62607-6-4:2024
納米制造關鍵控制特性第 6-4 部分：石墨烯基材料表面電導：非接觸式微波諧振腔法

Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-4: Graphene-based materials - Surface conductance: non-contact microwave resonant cavity method

適用范圍: 本部分 IEC 62607 建立了通過非接觸式微波諧振腔法測定石墨烯和石墨烯基材料薄膜的關鍵控制特性表面電導率的標準化方法。該方法通過監測樣品插入微波腔時微波諧振頻率的偏移和腔的品質因數變化來測量樣品表面積。該方法適用于通過化學氣相沉積（CVD）在金屬基底上合成的石墨烯材料、在碳化硅（SiC）上外延生長的石墨烯材料、從還原氧化石墨烯（rGO）獲得的石墨烯材料或從石墨機械剝離的石墨烯材料。該測量不明確依賴于納米碳層的厚度。

術語	描述
石墨烯 graphene	單層碳原子，每個原子與三個相鄰原子以蜂窩結構結合。
雙層石墨烯 bilayer graphene	由兩個明確堆疊的石墨烯層組成的二維材料。
三層石墨烯 trilayer graphene	由三個明確堆疊的石墨烯層組成的二維材料。
少層石墨烯 few-layer graphene	由三到十個明確堆疊的石墨烯層組成的二維材料。
氧化石墨烯 graphene oxide	通過石墨的氧化和剝離制備的化學改性石墨烯，導致基面廣泛的氧化改性。

矢量網絡分析儀 VNA	用于測量微波散射參數的儀器，工作頻率范圍為6 GHz至13 GHz。