BS EN ISO 25178-700:2023
產品幾何規格 (GPS) 表面紋理：面積面積形貌測量儀器的校準、調整和驗證

Geometrical product specifications (GPS). Surface texture: Areal - Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments

適用范圍: 本文件規定了面積形貌測量儀器共有的計量特性的校準、調整和驗證的通用程序，如 ISO 25178-600 中所述。由于表面輪廓可以從表面形貌圖像中提取，因此本文檔中描述的大多數方法都可以適用于輪廓分析儀器。本文檔不涉及儀器特定的問題。例如，對于基于機械探測的儀器，其中探頭遵循附加的弧形運動，ISO 25178-701 中規定了附加措施。本文件不包括區域積分方法的程序，盡管 ISO 25178-6 中也有這些規定。例如，光散射屬于一類稱為區域積分方法的技術，用于測量表面形貌。

術語	描述
非測量點 non-measured points	沒有有效測量值存在的表面位置
偽數據 spurious data	雖被檢測裝置判斷為可測量但嚴重偏離合理值范圍的數據。
測量噪聲 measurement noise	在設備正常使用過程中，加到輸出信號上的額外噪音

未具體定義的設備	用于校準地形測量儀的各種物理測量標準（材料測度）