BS ISO 18516:2006
表面化學分析.俄歇電子光譜法和X射線光電子光譜法.橫向分辨率測定

Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution

被代替

標準號

BS ISO 18516:2006

發布

2006年

總頁數

34頁

發布單位

英國標準學會

替代標準

BS ISO 18516:2006(2010)

當前最新

BS ISO 18516:2006(2010)

 

 

適用范圍

ISO 18516:2006 描述了在規定設置下測量俄歇電子能譜儀和 X 射線光電子能譜儀可實現的橫向分辨率的三種方法。直邊法適用于橫向分辨率預計大于 1 微米的儀器。如果橫向分辨率預計小于 1 微米但大于 20 nm，則網格法是合適的。金島法適用于橫向分辨率預計小于 50 nm 的儀器。附件 A、B 和 C 提供了橫向分辨率測量的說明性示例。

BS ISO 18516:2006 中可能用到的儀器設備

專題

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