GB/T 29558-2013
表面化學(xué)分析俄歇電子能譜強(qiáng)度標(biāo)的重復(fù)性和一致性

Surface chemical analysis.Auger electron spectroscopy.Repeatability and constancy of intensity scale

適用范圍: 針對(duì)于常規(guī)分析使用的電子槍能量至少為2 keV的俄歇電子能譜儀,本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種評(píng)估其強(qiáng)度標(biāo)的重復(fù)性和恒定性的方法。它僅適用于配備了濺射清潔用離子槍的儀器。本標(biāo)準(zhǔn)并非旨在成為一種強(qiáng)度/能量響應(yīng)函數(shù)的校準(zhǔn),這種校準(zhǔn)可由儀器廠商或者其他機(jī)構(gòu)制定。本方法提供數(shù)據(jù)以評(píng)估和確認(rèn)儀器使用中強(qiáng)度/能量響應(yīng)函數(shù)保持恒定的精度,對(duì)可影響這種恒定性的一些儀器設(shè)置給出了指導(dǎo)。

術(shù)語	描述
微分模式 Differentiated Mode	通過對(duì)能譜進(jìn)行微分處理以提高峰檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
直接模式 Direct Mode	直接使用峰的強(qiáng)度值進(jìn)行分析，不經(jīng)過微分處理。

俄歇電子能譜儀配備濺射離子槍	用于表面化學(xué)分析的精密儀器，具備高能量分辨率和靈敏度。
微分函數(shù)寬度 3 eV 或 5 eV	影響譜峰檢測(cè)寬度的技術(shù)參數(shù)。