ISO 11952:2014
表面化學分析. 掃描探針顯微鏡. 使用SPM測定幾何量:測量系統校準

Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

被代替

ISO 11952:2014 發布歷史

ISO 11952:2014由國際標準化組織 IX-ISO 發布于 2014-05。

ISO 11952:2014 在中國標準分類中歸屬于: A43 化學，在國際標準分類中歸屬于: 71.040.40 化學分析。

ISO 11952:2014 表面化學分析. 掃描探針顯微鏡. 使用SPM測定幾何量:測量系統校準的最新版本是哪一版？

最新版本是 ISO 11952:2019 。

ISO 11952:2014 發布之時，引用了標準

• IEC/TS 62622:2012 納米技術中的人造光柵——尺寸質量參數的描述和測量
• ISO 11039:2012 表面化學分析.掃描探針顯微鏡.漂移率的測定標準
• ISO 12179:2000 產品幾何量技術規范(GPS) 表面結構:輪廓法 接觸(觸針)式儀器的校準
• ISO 12853:1997 光學和光學儀器 顯微鏡 為用戶提供的信息
• ISO 18115-2:2013 表面化學分析.詞匯表.第2部分:掃描-探針顯微鏡檢查中應用的術語
• ISO 3274:1996 產品幾何量技術規范(GPS) 表面結構:輪廓法 接觸(觸針)式儀器的標稱特性
• ISO 4287:1997 產品幾何量技術規范(GPS) 表面結構:輪廓法 表面結構的術語、定義及參數 兩種語言版
• ISO 4288:1996 產品幾何量技術規范(GPS) 表面結構:輪廓法 評定表面結構的規則和方法
• ISO 5436-1:2000 產品幾何量技術規范(GPS) 表面結構:輪廓法 測量標準 第1部分:材料測量
• ISO Guide 30:1992 與標準物質有關的術語和定義
• ISO Guide 34:2009 參考材料生產商權限的一般要求
• ISO/IEC Guide 98-3:2008 測量的不確定性.第3部分:測量不確定性的表達指南(GUM-1995)

ISO 11952:2014的歷代版本如下：

• 2019年 ISO 11952:2019 表面化學分析.掃描探針顯微鏡.用SPM測定幾何量:測量系統的校準
• 2014年 ISO 11952:2014 表面化學分析. 掃描探針顯微鏡. 使用SPM測定幾何量:測量系統校準

本國際標準規定了在最高水平上測量幾何量時表征和校準掃描探針顯微鏡掃描軸的方法。它適用于提供進一步校準的人，并不適用于可能需要較低水平校準的一般工業用途。本國際標準具有以下目標：——通過對長度單位的可追溯性，提高使用掃描探針顯微鏡進行的幾何量測量的可比性；——定義校準過程的最低要求和驗收條件；——確定儀器的校準能力（為儀器分配“校準能力”類別）；——定義校準范圍（測量條件和環境、測量范圍、時間穩定性、可轉移性）；——根據 ISO/IEC 指南 98-3 提供一個模型，用于計算使用掃描探針顯微鏡測量的簡單幾何量的不確定度；——定義報告結果的要求。

采用 ISO 11952 的發行版本有：

• BS ISO 11952:2019 表面化學分析 掃描探針顯微鏡 使用 SPM 確定幾何量：測量系統的校準

標準號

ISO 11952:2014

發布

2014年

總頁數

66頁

發布單位

國際標準化組織

替代標準

ISO 11952:2019

當前最新

ISO 11952:2019

 

 

引用標準

IEC/TS 62622:2012 ISO 11039:2012 ISO 12179:2000 ISO 12853:1997 ISO 18115-2:2013 ISO 3274:1996 ISO 4287:1997 ISO 4288:1996 ISO 5436-1:2000 ISO Guide 30:1992 ISO Guide 34:2009 ISO/IEC Guide 98-3:2008

ISO 11952:2014 中提到的儀器設備

專題

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