外延硅片平整度

本專題涉及外延硅片平整度的標準有22條。

國際標準分類中，外延硅片平整度涉及到絕緣流體、半導體材料、金屬材料試驗。

在中國標準分類中，外延硅片平整度涉及到金屬無損檢驗方法、半金屬與半導體材料綜合、元素半導體材料、電子技術專用材料、化合物半導體材料、半導體分立器件綜合、金屬物理性能試驗方法、、金屬化學性能試驗方法。

國家質檢總局，關于外延硅片平整度的標準

• GB/T 14139-1993 硅外延片
• GB/T 14139-2009 硅外延片
• GB/T 44334-2024 埋層硅外延片
• GB/T 43885-2024 碳化硅外延片
• GB/T 14015-1992 硅-蘭寶石外延片
• GB/T 6621-2009 硅片表面平整度測試方法
• GB/T 6621-1995 硅拋光片表面平整度測試方法
• GB/T 32278-2015 碳化硅單晶片平整度測試方法
• GB/T 14142-1993 硅外延層晶體完整性檢查方法
• GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接觸式標準測試方法
• GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及總厚度變化測試 自動非接觸掃描法
• GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氫硅

國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會，關于外延硅片平整度的標準

• GB/T 14139-2019 硅外延片

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會，關于外延硅片平整度的標準

• GB/T 35310-2017 200mm硅外延片
• GB/T 14142-2017 硅外延層晶體完整性檢驗方法 腐蝕法

行業標準-電子，關于外延硅片平整度的標準

• SJ 1549-1979 硅外延片(暫行)
• SJ 1550-1979 硅外延片檢測方法
• SJ/Z 1610-1980 硅外延片缺陷圖集
• SJ 20514-1995 微波功率晶體管用硅外延片規范

中國團體標準，關于外延硅片平整度的標準

• T/ZZB 2833-2022 高壓MOSFET用200 mm硅外延片
• T/IAWBS 002-2017 碳化硅外延片表面缺陷測試方法

英國標準學會，關于外延硅片平整度的標準

• BS 9300 C644:1971 硅npn平面外延晶體管詳細規范

 

可能用到的儀器設備