硅片表面金屬沾污的全反射x光熒光光譜測試方法
本專題涉及硅片表面金屬沾污的全反射x光熒光光譜測試方法的標準有2條。
國際標準分類中，硅片表面金屬沾污的全反射x光熒光光譜測試方法涉及到半導體材料、金屬材料試驗。
在中國標準分類中，硅片表面金屬沾污的全反射x光熒光光譜測試方法涉及到半金屬與半導體材料綜合、半金屬及半導體材料分析方法。
國家質檢總局，關于硅片表面金屬沾污的全反射x光熒光光譜測試方法的標準
- GB/T 24578-2009 硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法
- GB/T 24578-2015 硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法
可能用到的儀器設備
