光致抗蝕劑

本專題涉及光致抗蝕劑的標(biāo)準(zhǔn)有2條。

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類中，光致抗蝕劑涉及到集成電路、微電子學(xué)。

在中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類中，光致抗蝕劑涉及到電子技術(shù)專用材料。

國(guó)家質(zhì)檢總局，關(guān)于光致抗蝕劑的標(biāo)準(zhǔn)

• GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范

美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)，關(guān)于光致抗蝕劑的標(biāo)準(zhǔn)

• ASTM F582-78(1991)e1 無(wú)機(jī)污染物分析用光致抗蝕劑的制備實(shí)施規(guī)程

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可能用到的儀器設(shè)備