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GB/T 40566-2021
流化床法顆粒硅 氫含量的測(cè)定 脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method

GBT40566-2021, GB40566-2021


標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
GB/T 40566-2021
別名
GBT40566-2021, GB40566-2021
發(fā)布
2021年
總頁數(shù)
12頁
發(fā)布單位
國(guó)家質(zhì)檢總局
當(dāng)前最新
GB/T 40566-2021
 
 
引用標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 14264 GB/T 6379.2 GB/T 8170
適用范圍
本文件描述了用脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法測(cè)定顆粒硅中氫含量的方法。 本文件適用于流化床法顆粒硅中氫含量的測(cè)定,其他硅材料參照使用。 注:本文件測(cè)定氫含量的范圍取決于所用氫分析儀的量程,最大測(cè)定范圍為氫量0.00008 mg~2.5 mg。 以質(zhì)量分?jǐn)?shù)(%)表示的氫分析儀的測(cè)定范圍因稱取樣品量的不同而不同。例如,1g 樣品最大測(cè)定范圍的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.000008%~0.25%;

GB/T 40566-2021 中提到的儀器設(shè)備

惰性氣體熔融-紅外檢測(cè)氫分析儀 由電極爐或感應(yīng)爐、分析氣流雜質(zhì)去除系統(tǒng)、輔助凈化系統(tǒng)和紅外氫測(cè)量系統(tǒng)組成。
電子天平
感量?jī)?yōu)于0.1mg。

專題


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