DIN 50450-1:1987
半導體工藝材料的檢驗.載運氣體和添加劑氣體中雜質的測定.用五氧化二磷電池測定氫、氧、氮、氬和氦中的水雜質
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell
- 標準號
- DIN 50450-1:1987
- 發布
- 1987年
- 總頁數
- 2頁
- 發布單位
- 德國標準化學會
- 替代標準
- DIN 50450-1:1987-08
- 當前最新
- DIN 50450-1:1987-08
- 適用范圍
- 該標準確定了半導體技術中使用的載氣和摻雜氣體（H2、O、N、Ar、He）中水雜質的測定方法。
專題
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