ASTM F1374-92(2012)
氣體分配系統部件內表面-IC/GC/FTIR離子/有機可萃取物的標準試驗方法
Standard Test Method for Ionic/Organic Extractables of Internal Surfaces-IC/GC/FTIR for Gas Distribution System Components
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- 標準號
- ASTM F1374-92(2012)
- 發布
- 1992年
- 總頁數
- 5頁
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 替代標準
- ASTM F1374-92(2020)
- 當前最新
- ASTM F1374-92(2020)
- 引用標準
- ASTM E1151
1.1 本測試方法建立了測試超高純氣體分配系統中使用的組件的離子和有機表面殘留物的程序。 1.2 本測試方法適用于含有氣態電子級材料的在線組件。 1.3 局限性： 1.3.1 本測試方法受到檢測儀器靈敏度和提取溶劑可用純度水平的限制。雖然離子色譜和氣相色譜方法是定量的，但傅里葉變換紅外光譜 (FTIR) 方法可用作定性或定量工具。此外，還使用氣相色譜 (GC...