ASTM F1374-92(2012)
氣體分配系統部件內表面-IC/GC/FTIR離子/有機可萃取物的標準試驗方法
Standard Test Method for Ionic/Organic Extractables of Internal Surfaces-IC/GC/FTIR for Gas Distribution System Components
- 標準號
- ASTM F1374-92(2012)
- 發布
- 1992年
- 總頁數
- 5頁
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 替代標準
- ASTM F1374-92(2020)
- 當前最新
- ASTM F1374-92(2020)
- 引用標準
- ASTM E1151
- 適用范圍
- 1.1 本測試方法建立了測試超高純氣體分配系統中使用的組件的離子和有機表面殘留物的程序。
1.2 本測試方法適用于含有氣態電子級材料的在線組件。
1.3 局限性：
1.3.1 本測試方法受到檢測儀器靈敏度和提取溶劑可用純度水平的限制。雖然離子色譜和氣相色譜方法是定量的，但傅里葉變換紅外光譜 (FTIR) 方法可用作定性或定量工具。此外，還使用氣相色譜 (GC) 和 FTIR 方法來檢測殘留在部件內表面上的碳氫化合物和鹵化物質。這消除了那些具有高蒸氣壓的材料，這些材料是根據該測試方法在總碳氫化合物測試中進行分析的。
1.3.2 本測試方法適用于具有相當于 12 個月經驗水平的設備使用理解水平的操作員。
1.4 以 SI 單位表示的數值應視為標準。括號中給出的英寸-磅單位僅供參考。
1.5 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。具體危險說明見第 6 節。