YS/T 985-2014
硅拋光回收片

Polished reclaimed silicon wafers

YST985-2014, YS985-2014

標(biāo)準(zhǔn)號

YS/T 985-2014

別名

YST985-2014, YS985-2014

發(fā)布

2014年

發(fā)布單位

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)-有色金屬

當(dāng)前最新

YS/T 985-2014

 

 

引用標(biāo)準(zhǔn)

GB GB/T 11073 GB/T 12962 GB/T 12964 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 19921 GB/T 19922 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624

適用范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅拋光回收片的要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于用戶提供的或來源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm單面或雙面拋光硅片、未拋光硅片或外延硅片)經(jīng)單面拋光制備的硅拋光片。產(chǎn)品主要用于機(jī)械、爐處理、顆粒和光刻中的監(jiān)控片。另外,使用方需注意硅回收片的熱歷史、體沾污和表面沉積物情況。

專題

YS/T 985-2014相似標(biāo)準(zhǔn)

YS/T 985-2014 中可能用到的儀器設(shè)備